半導体製造ラボ

conference research / Tier a

SPIE Photomask/EUV学会研究

photomask、EUV mask、metrology、inspection/repair、mask business、emerging technologies を mask 専門で追う SPIE 会議。

SPIE Photomask Technology + Extreme Ultraviolet Lithographyは、露光 / パターニング / 配線 / 量産の観点から photomask, EUV mask, inspection, repair, metrology, mask business, BACUS を確認するための学会です。公式ページ、募集要項、program、proceedings を分けて確認し、研究室DBや求人DBの分類軸へ接続します。

snapshot

基本データ

Tier A

3大国際会議以外の主要学会として、分野別に確認する。

分野 露光 / パターニング / 配線 / 量産

研究室DBと技術レーダーのfield接続に使う。

ジャンル BEOL / 配線・製造

FEOL、BEOL、3DI、回路、WBG、フォトニクス、信頼性へ接続する。

主催 SPIE / BACUS Technical Group
開催サイクル 2026-09-08〜11 / Monterey, California, US

投稿募集中 / 2026会期前

投稿形式 abstract submission + SPIE proceedings manuscript

topics

研究テーマと企業調査へ変換する

coverage

photomask、EUV mask、metrology、inspection/repair、mask business、emerging technologies を mask 専門で追う SPIE 会議。

監視テーマ

photomask, EUV mask, inspection, repair, metrology, mask business, BACUS

CFPから抽出する論点

Photomask/EUV は ALP より mask に絞り、EUV mask の検査・修復・計測と mask supply chain を深く確認できる。

年次比較で残す比較軸

High-NA EUV 時代の mask writer、inspection、pellicle、repair の制約を年次で追跡する基準点。

deadlines

投稿・採択イベント

締切日付は未取得です。募集要項ページで最新サイクルを確認してください。

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関連ページ

研究室DBの学会発表実績タグは、公式業績・program・researchmap/KAKEN成果などで実際の発表が確認できた場合だけ表示します。候補・近接テーマだけでは接続しません。

sources

公式確認リンク