ウェーハ前工程
アニール・熱処理
2件の公開求人に接続熱を加えて結晶ダメージ回復、活性化、膜質改善などを行う工程。
この工程で何をするか
- 温度履歴を制御して材料特性を整える
- 熱予算と均一性を管理する
代表的な装置・設備
- RTP / RTA装置
- アニール炉
- レーザーアニール装置
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アニールAnnealRTP熱処理
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ウェーハ前工程
熱を加えて結晶ダメージ回復、活性化、膜質改善などを行う工程。
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