半導体製造ラボ

ウェーハ前工程

洗浄・表面処理

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粒子・金属・有機物・自然酸化膜などを除去し、次工程に適した表面を作る工程。

この工程で何をするか

  • 薬液・純水・物理作用で汚染を除去する
  • 表面状態と再汚染を管理する

代表的な装置・設備

  • 枚葉洗浄装置
  • バッチ洗浄装置
  • ウェットベンチ

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ウェーハ洗浄Wet Clean洗浄装置表面処理

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