半導体製造ラボ SEMICONDUCTOR DATA LAB

ウェーハ前工程

CVD・PECVD

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ウェーハ前工程に属する「CVD・PECVD」の処理、装置、工程条件、品質管理を扱う分類です。

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  • CVD・PECVDの工程条件・装置条件を設計する
  • 処理結果を測定し、量産品質と歩留まりを管理する

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  • CVD・PECVD関連装置
  • 工程計測・評価設備

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