半導体製造ラボ

ウェーハ前工程

熱酸化

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ウェーハ前工程に属する「熱酸化」の処理、装置、工程条件、品質管理を扱う分類です。

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この工程で何をするか

  • 熱酸化の工程条件・装置条件を設計する
  • 処理結果を測定し、量産品質と歩留まりを管理する

代表的な装置・設備

  • 熱酸化関連装置
  • 工程計測・評価設備

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