conference research / Tier a

SPIE Etch学会研究

etch、pattern transfer、process integration、ALE、plasma process を lithography 後の形状転写として確認する。

SPIE Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterningは、露光 / パターニング / 配線 / 量産の観点から etch, pattern transfer, ALE, plasma, process integration, profile control を確認するための学会です。公式ページ、募集要項、program、proceedings を分けて確認し、研究室DBや求人DBの分類軸へ接続します。

snapshot

基本データ

Tier A

3大国際会議以外の主要学会として、分野別に確認する。

分野 露光 / パターニング / 配線 / 量産

研究室DBと技術レーダーのfield接続に使う。

ジャンル BEOL / 配線・製造

FEOL、BEOL、3DI、回路、WBG、フォトニクス、信頼性へ接続する。

主催 SPIE

開催サイクル 2026-02-22〜26 / San Jose, California, US

2026会期終了 / proceedings確認

投稿形式 SPIE ALP conference abstract + proceedings manuscript

topics

研究テーマと企業調査へ変換する

coverage

etch、pattern transfer、process integration、ALE、plasma process を lithography 後の形状転写として確認する。

監視テーマ

etch, pattern transfer, ALE, plasma, process integration, profile control

CFPから抽出する論点

露光だけでは解けない寸法制御を etch と process integration の側で確認でき、装置/材料/量産DBの接続点になる。

年次比較で残す比較軸

ASML/TEL/Lam/Applied Materials などの装置企業研究ページへ、露光後工程の課題として接続しやすい。

deadlines

投稿・採択イベント

締切日付は未取得です。募集要項ページで最新サイクルを確認してください。

公式確認リンク

公式公式ページ確認日: 2026-05-30