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ウェーハ・基板

SOI・化合物・エンジニアド基板

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ウェーハ・基板に属する「SOI・化合物・エンジニアド基板」の処理、装置、工程条件、品質管理を扱う分類です。

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この工程で何をするか

  • SOI・化合物・エンジニアド基板の工程条件・装置条件を設計する
  • 処理結果を測定し、量産品質と歩留まりを管理する

代表的な装置・設備

  • SOI・化合物・エンジニアド基板関連装置
  • 工程計測・評価設備

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SOI・化合物・エンジニアド基板engineered substrate

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