半導体製造ラボ

工場基盤・工程横断

特殊ガス・薬液供給

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工場基盤・工程横断に属する「特殊ガス・薬液供給」の処理、装置、工程条件、品質管理を扱う分類です。

この工程で何をするか

  • 特殊ガス・薬液供給の工程条件・装置条件を設計する
  • 処理結果を測定し、量産品質と歩留まりを管理する

代表的な装置・設備

  • 特殊ガス・薬液供給関連装置
  • 工程計測・評価設備

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特殊ガス・薬液供給gas chemical supply

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