ウェーハ前工程
イオン注入
2件の公開求人に接続イオン化した不純物を加速してウェーハへ打ち込み、電気特性を調整する工程。
この工程で何をするか
- 注入種・エネルギー・ドーズ量を設定する
- 注入均一性とダメージを管理する
代表的な装置・設備
- イオン注入装置
- 高エネルギーイオン注入装置
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イオン注入Ion ImplantImplanter
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ウェーハ前工程
イオン化した不純物を加速してウェーハへ打ち込み、電気特性を調整する工程。
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