半導体製造ラボ

ウェーハ前工程

酸化・拡散(全体)

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高温炉などで酸化膜形成や不純物拡散を行う熱処理系の工程。

この工程で何をするか

  • 熱酸化でシリコン酸化膜を形成する
  • 炉内の温度・ガス・時間を制御する

代表的な装置・設備

  • 酸化炉
  • 拡散炉
  • 縦型炉

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酸化工程拡散工程Diffusion熱酸化

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