半導体製造ラボ

ウェーハ前工程

成膜(全体)

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絶縁膜・導電膜・バリア膜などをウェーハ表面へ形成する工程。

この工程で何をするか

  • 気相反応や物理蒸着で薄膜を形成する
  • 膜厚・組成・均一性を制御する

代表的な装置・設備

  • CVD装置
  • PVD・スパッタ装置
  • ALD装置

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