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ウェーハテスト

ウェーハテスト・EDS

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ダイシング前のウェーハ上で各チップへ針を当て、電気特性を選別する工程。

この工程で何をするか

  • プローブカードでチップへ接触する
  • ウェーハマップへ良否結果を記録する

代表的な装置・設備

  • ウェーハプローバ
  • プローブカード
  • 半導体テスタ

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