半導体製造ラボ

工場基盤・工程横断

ファシリティ・用役(全体)

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クリーンルーム、電力、ガス、薬液、純水、排水など工場基盤を維持する領域。

この工程で何をするか

  • 工場用役を安定供給する
  • 安全・環境・省エネを管理する

代表的な装置・設備

  • 純水設備
  • ガス供給設備
  • 排気・排水処理設備

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