ドライポンプ（乾式真空ポンプ）とは
ドライポンプとは、ポンプ室のシールに油や液体を用いる方式に代えて、乾いたまま気体を圧縮する容積式の真空ポンプです。 大阪真空機器製作所は公式製品ページでこのように記述しています。
真空ポンプが気体を圧縮するとき、可動部の隙間から気体が戻ります。この隙間を油で埋める方式が油回転ポンプで、封じる相手を液体に任せるぶん、隙間の加工精度は緩められます。
そのかわり、油が処理室側へ戻る経路が残ります。半導体の処理室にとって、これは汚染そのものです。膜の上に油の分子が乗れば、その場所の界面が変わり、後工程の密着や電気特性へ響きます。
ドライポンプは、封液に頼らずに圧縮します。可動部の隙間そのものを小さく作り、機械的な精度だけで気体を封じます。大阪真空機器製作所は公式製品ページで、チャンバーへの油やパーティクルの逆流が起きない点を利点に挙げています。加工精度を要求として引き受けるかわりに、汚染の経路を1本減らします。
大阪真空機器製作所は公式製品ページで、小型ドライスクリュー真空ポンプのDSPシリーズ、省エネ多段ルーツ真空ポンプのERシリーズ、空冷多段ルーツ真空ポンプのFRシリーズを挙げています。スクリュー式は1本のねじ溝で連続的に送り、ルーツ式は2枚のロータをかみ合わせて段を重ねます。
数値も公開されています。同ページはFR060Dについて大気圧での排気速度を800L/min、FRシリーズについて空冷ドライポンプとして1000L/min（36CFM）と記載し、ERシリーズについて到達圧力での消費電力を400Wとしています。半導体と電子部品を産業分野に挙げ、歩留まりとメンテナンス性の面で必須であると述べています。
立ち上がりの速さも仕様です。同ページは、バイパスラインによって大気圧付近で大きな排気速度が得られること、到達圧力まで排気速度が一定であることを挙げています。処理室を大気開放して整備した後、再び処理へ戻すまでの時間が短くなります。
ターボ分子ポンプとの役割分担
Section titled “ターボ分子ポンプとの役割分担”Edwardsは公式製品ページで、ターボ分子ポンプが大気へ排気するために適切な大きさの背圧ポンプを必要とすると述べています。ターボ分子ポンプの出口はまだ真空であり、そこから大気圧までを受け持つのがドライポンプです。
つまり真空排気系は、大気圧から中真空までをドライポンプが、そこから高真空までをターボ分子ポンプが担う直列の構成になります。どちらか一方だけでは処理室の圧力は目標へ届きません。
この用語に対応する装置と製造メーカー
Section titled “この用語に対応する装置と製造メーカー”装置カタログDBから、この用語に一致する製品familyを持つメーカー 1社／1family を引いています。 各行は各社の公式製品ページを出典とします。 DBからの生成日: 2026-08-23
- EBARA
- UFP plating / ozonized water equipmentPlating / Cleaning
出典は各社の公式製品ページです。 装置カタログDB では、同じ製品familyを工程・メーカー横断で検索できます。
関連するデータ・ツール
Section titled “関連するデータ・ツール”- 装置技術・装置エンジニアリングの工程ページ ── 工程分類と、この工程に接続している公開求人
- 汚染・パーティクル管理の工程ページ ── 逆流汚染を扱う側
- 装置カタログDB ── 公式製品ページ単位のメーカーと製品family
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”ドライポンプとは何ですか？
大阪真空機器製作所は公式製品ページで、ドライ真空ポンプを、ポンプ室のシールに油や液体を用いる方式に代えて乾いたまま排気する容積式真空ポンプと記述しています。機械的な隙間の管理だけで気体を圧縮します。
なぜ油を避けるのですか？
油が処理室側へ戻ると汚染になるためです。大阪真空機器製作所は公式製品ページで、チャンバーへの油やパーティクルの逆流が起きない点を利点に挙げています。
どんな系統がありますか？
大阪真空機器製作所は公式製品ページで、小型ドライスクリュー真空ポンプのDSPシリーズ、省エネ多段ルーツ真空ポンプのERシリーズ、空冷多段ルーツ真空ポンプのFRシリーズを挙げています。
排気速度はどのくらいですか？
大阪真空機器製作所は公式製品ページで、FR060Dについて大気圧での排気速度を800L/min、FRシリーズについて空冷ドライポンプとして1000L/min（36CFM）と記載しています。ERシリーズは到達圧力で消費電力400Wとしています。
ターボ分子ポンプとどう組み合わせますか？
直列につなぎます。Edwardsは公式製品ページで、ターボ分子ポンプが大気へ排気するために適切な大きさの背圧ポンプを必要とすると述べています。ドライポンプが大気圧側を受け持ち、ターボ分子ポンプが高真空側を担います。
立ち上がりの速さは何で決まりますか？
大阪真空機器製作所は公式製品ページで、バイパスラインによって大気圧付近で大きな排気速度が得られること、到達圧力まで排気速度が一定であることを挙げています。装置を止めてから再び処理へ戻すまでの時間に直結します。
比較・違いを学ぶ
Section titled “比較・違いを学ぶ”- CVDとPVDの違い（成膜プロセス比較） ── 真空度要件を軸に比較
この記事の事実は次の一次資料を根拠とし、各URLの到達可否をこちらで実測しています。したがって、リンク先が移動または消滅した場合は、その旨をこのページへ反映します。
- 大阪真空機器製作所「Dry Vacuum Pumps」公式製品ページ（2026年8月23日にリンク生存を実測、200）
- Edwards「Turbomolecular Pumps」公式製品ページ（2026年8月23日にリンク生存を実測、200）
- 装置と製造メーカーの行は
intel.equipment_vendor_families（公式製品ページ由来）から生成