マスフローコントローラ（MFC）とは
マスフローコントローラ（MFC）とは、ガスの流量を測って設定値へ合わせ込む部品です。 MKSは公式製品ページで、ガス流量の調整を担い、正確で再現性のあるガス流量の測定と制御を行うと記述しています。
成膜もエッチングも、反応室へ送り込むガスの量で結果が変わります。同じレシピで同じ膜を作るには、毎回同じ量のガスが届く必要があります。
ここでバルブの開度を指定する方式は、上流の圧力と温度が一定のときに限って設定どおりの流量になります。開度が同じでも、上流のボンベ圧力が下がれば流れる量は減り、配管の温度が変われば密度が変わって、やはり量は動きます。開度は原因の1つであり、結果である流量は上流の状態しだいで上下します。
MFCは、結果の側を測ります。流路を通る質量流量を測定し、設定値との差を見てバルブを動かします。上流が揺れても、測った値が設定へ戻るまで動き続けます。装置のレシピが「毎分いくら」と書けるのは、この閉じた制御があるためです。
質量で測る点も要です。体積で測ると、同じ体積でも温度と圧力によって含まれる分子の数が変わります。反応に加わるのは分子の数そのものなので、質量で測ったほうが工程の条件と一致します。
ガスと製品系列
Section titled “ガスと製品系列”MKSは公式製品ページで、対応ガスとして空気、窒素、水素、その他の特殊ガスを挙げ、半導体製造を用途の1つとしています。
製品は性格ごとに区分されています。同ページは、高速かつ再現性のあるG-Series、高性能のP-Series、小型で超高速のC-Series、High Flow、IP66対応のI-Series、およびLegacyを挙げています。系列が速度と流量域で区分されるのは、工程ごとに求める性能が別々のためです。
応答速度が1サイクルの長さを左右する代表がALDです。前駆体と反応剤を短い時間で交互に切り替えるため、切り替えのたびに流量が設定値へ届くまでの時間が、そのまま1サイクルの長さへ乗ります。逆に、大きな流量を長時間流し続ける工程では、速さより大流量域の精度が問われます。
関連するデータ・ツール
Section titled “関連するデータ・ツール”- ガス・薬液供給の工程ページ ── 工程分類と、この工程へ紐づけた公開求人
- ALDの工程ページ ── ガス切り替えの速さが1サイクルの長さを左右する工程
- 装置カタログDB ── 公式製品ページ単位のメーカーと製品family
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”マスフローコントローラとは何ですか？
ガスの流量を測って設定値へ合わせ込む部品です。MKSは公式製品ページで、ガス流量の調整を担い、正確で再現性のあるガス流量の測定と制御を行うと記述しています。
バルブの開度を指定する方式との差は何ですか？
測る対象が違います。開度を指定する方式は、上流の圧力や温度が動くと実際の流量も動きます。MFCは流量そのものを測り、設定値との差からバルブを動かします。上流が揺れても流量は設定値へ戻ります。
質量流量とは何ですか？
単位時間あたりに通る気体の質量です。体積で測ると温度と圧力によって値が動くため、同じ体積でも反応する分子の数が上下します。質量で測れば、反応へ供給した量そのものを指せます。
どんなガスを流しますか？
MKSは公式製品ページで、空気、窒素、水素、その他の特殊ガスを挙げています。半導体製造を用途の1つとしています。
製品の系列はどう区分されていますか？
MKSは公式製品ページで、高速かつ再現性のあるG-Series、高性能のP-Series、小型で超高速のC-Series、High Flow、IP66対応のI-Series、およびLegacyを挙げています。
なぜ応答速度が問われるのですか？
ALDのように、ガスを短い時間で切り替える工程があるためです。切り替えのたびに流量が設定値へ届くまで時間がかかると、その分だけ1サイクルが伸び、装置が単位時間に流せる枚数が落ちます。
比較・違いを学ぶ
Section titled “比較・違いを学ぶ”- CVDとPVDの違い（成膜プロセス比較） ── ガス供給が膜の出来を左右する側
この記事の事実は次の一次資料を根拠とし、各URLの到達可否をこちらで実測しています。したがって、リンク先が移動または消滅した場合は、その旨をこのページへ反映します。
- MKS「Mass Flow Controllers」公式製品ページ（2026年8月23日にリンク生存を実測、200）