EFEM（装置フロントエンドモジュール）とは
EFEM（Equipment Front End Module）とは、処理装置の前面に付き、FOUPとチャンバの間でウェハを受け渡すモジュールです。 ロードポート、搬送ロボット、アライナをまとめた区画になります。
処理装置の本体は、成膜やエッチングを行うチャンバです。しかしウェハはFOUPに25枚まとめて届きます。容器から1枚取り出し、向きを揃え、チャンバへ入れ、加工を終えたらFOUPへ返します。この一連の動作を担う区画が要ります。それがEFEMです。
構成部品は決まっています。RORZEは公式製品ページで、ウェハ搬送システムの構成要素として大気ロボット、真空ウェハロボット、アライナ、ロードポート、真空プラットフォーム、EFEM／ソータ、ストッカーを挙げています。平田機工も公式ページで、ウェハ搬送ロボット、アライナ、ロードポート、およびFreedom EFEMとソータを掲載しています。
向きを揃える工程が挟まる点が特徴です。ウェハの外周にはノッチがあり、結晶の向きを示します。チャンバへ入れる前にこの向きと中心位置を測って合わせることで、はじめてパターンの向きが揃います。この役目をアライナが担います。
清浄度とスループット
Section titled “清浄度とスループット”EFEMは大気圧のまま動きます。チャンバが真空である以上、その手前に大気と真空をつなぐロードロックが要ります。EFEM自身は大気側にあり、内部へ清浄な空気を流し続けることで清浄度を保ちます。RORZEは公式製品ページで、ACE EFEMの消費電流にFFU（ファンフィルタユニット）を含むと記載しています。
スループットも設計項目です。同じ公式製品ページは、新型のクリーンロボットと高速リニアトラック軸によって高速搬送を実現していること、アライナを2台搭載すればスループットをさらに高められること、OHTおよびAGVとのあいだでFOUPを受け渡せること、真空吸着型とエッジクランプ型（オプション）に対応することを述べています。裏面を避けたい工程では、エッジをつかむ方式が選ばれます。
この用語に対応する装置と製造メーカー
Section titled “この用語に対応する装置と製造メーカー”装置カタログDBから、この用語に一致する製品familyを持つメーカー 2社／2family を引いています。 各行は各社の公式製品ページを出典とします。 DBからの生成日: 2026-08-22
- Hirata
- Freedom EFEM / sorterAutomation / EFEM / Sorter
- ローツェ
- ACE EFEM / ACE SORTERAutomation / EFEM / Sorter
出典は各社の公式製品ページです。 装置カタログDB では、同じ製品familyを工程・メーカー横断で検索できます。
関連するデータ・ツール
Section titled “関連するデータ・ツール”- 工場自動化・AMHS・CIM・MESの工程ページ ── 工程分類と、この工程に接続している公開求人
- 装置カタログDB ── 公式製品ページ単位のメーカーと製品family
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”EFEMとは何ですか？
処理装置の前面に付き、FOUPとチャンバの間でウェハを受け渡すモジュールです。ロードポート、搬送ロボット、アライナなどをまとめた1つの区画になります。
どんな部品で構成されますか？
RORZEは公式製品ページで、ウェハ搬送システムの構成要素として大気ロボット、真空ウェハロボット、アライナ、ロードポート、真空プラットフォーム、EFEM／ソータ、ストッカーを挙げています。
アライナは何をしますか？
ウェハの向きと中心を揃えます。ウェハの外周にはノッチがあり、結晶の向きを示します。チャンバへ入れる前に、この向きと中心位置を測って合わせます。RORZEの公式製品ページは、アライナを2台搭載すればスループットを高められると述べています。
清浄度はどう保ちますか？
内部へ清浄な空気を流し続けます。RORZEの公式製品ページは、ACE EFEMの消費電流にFFU（ファンフィルタユニット）を含むと記載しています。FOUPの扉を開けている間も、内部は清浄な空気で満たしたままにします。
保持の仕方に種類はありますか？
あります。RORZEの公式製品ページは、真空吸着型とエッジクランプ型（オプション）に対応すると述べています。裏面を避けたい工程ではエッジをつかむ方式が選ばれます。
工場の搬送系からFOUPをどう受け取りますか？
天井走行車や無人搬送車が持ってきたFOUPを、ロードポートで受け取ります。RORZEの公式製品ページは、OHTおよびAGVとのあいだでFOUPを受け渡せると述べています。
比較・違いを学ぶ
Section titled “比較・違いを学ぶ”- 半導体製造工程の全体像 ── 工程と装置の全体像
この記事の事実は次の一次資料を根拠とし、各URLの到達可否をこちらで実測しています。したがって、リンク先が移動または消滅した場合は、その旨をこのページへ反映します。
- RORZE「ACE EFEM」公式製品ページ（2026年8月22日にリンク生存を実測、200）
- RORZE「Wafer Transfer System」公式製品ページ（2026年8月22日にリンク生存を実測、200）
- 平田機工「Semiconductor」公式ページ（2026年8月22日にリンク生存を実測、200）
- 装置と製造メーカーの行は
intel.equipment_vendor_families（公式製品ページ由来）から生成