ロードポートとは
ロードポートとは、FOUPを装置へ載せる台であり、容器の扉を開けて内部を装置側の清浄な空間へつなぐ部品です。 容器の位置決めと固定、扉の開閉、内部の清浄度の維持までを1台で担います。
FOUPは密閉されています。中のウェハを取り出すには、どこかで扉を開ける工程が要ります。この瞬間が、清浄度を最も落としやすい場面です。外気が入り込めば、それまで密閉して守ってきた意味がなくなります。
ロードポートは、この受け渡しを担当します。容器を位置決めして機械的に保持し、容器側の扉と装置側の扉を合わせ、両方を一緒に外へ引き込みます。外気が入る隙間を作らずに、容器の内部と装置の内部だけが直接向かい合います。FOUPが前面から開く構造になっているのは、この動作のためです。
規格が共通化されている点も要です。RORZEは公式製品ページで、対応キャリアとして25スロットの300mm FOUP（SEMI E47.1）と25スロットの300mm FOSB（SEMI M31）を挙げ、対応ウェハを直径300±0.2mm、厚さ775μmとしています。装置メーカーが何社にまたがっても、規格に沿っていれば同じ容器が載ります。
台数と搬送系
Section titled “台数と搬送系”何台載せるかは、装置が単位時間に流せる枚数で決まります。流す速さが速い装置では、1台のロードポートが空になるのを待つと装置が止まります。複数台を並べ、片方から取り込んでいる間にもう片方へ次の容器を載せます。
工場の搬送系とも直結します。RORZEは公式製品ページで、OHTおよびAGVと直結できると述べています。天井走行車が容器を直接ロードポートへ載せるため、人が運ぶ必要がなくなります。RORZEと平田機工は、それぞれウェハ搬送システムと半導体向け製品の公式ページで、ロードポートを構成要素として掲載しています。
この用語に対応する装置と製造メーカー
Section titled “この用語に対応する装置と製造メーカー”装置カタログDBから、この用語に一致する製品familyを持つメーカー 2社／2family を引いています。 各行は各社の公式製品ページを出典とします。 DBからの生成日: 2026-08-22
- Hirata
- Wafer transfer robots / aligners / load portsAutomation / Wafer Handling
- ローツェ
- Wafer handling robots and load portsAutomation / Wafer Handling
出典は各社の公式製品ページです。 装置カタログDB では、同じ製品familyを工程・メーカー横断で検索できます。
関連するデータ・ツール
Section titled “関連するデータ・ツール”- 工場自動化・AMHS・CIM・MESの工程ページ ── 工程分類と、この工程へ紐づけた公開求人
- 装置カタログDB ── 公式製品ページ単位のメーカーと製品family
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”ロードポートとは何ですか？
FOUPを装置へ載せる台であり、容器の扉を開けて内部を装置側の清浄な空間へつなぐ部品です。RORZEと平田機工は、それぞれの公式ページでロードポートをウェハ搬送システムの構成要素として掲載しています。
置き台のほかに何をしますか？
置き台としての役割に加えて、容器の位置決め、固定、扉の開閉、内部の清浄度の維持までを担います。扉を開ける動作そのものが清浄度を左右します。だからこそ、2枚の扉を密着させて一緒に引き込む機構が要ります。
扉はどうやって開けますか？
容器側の扉と装置側の扉を合わせ、両方を一緒に外へ引き込みます。外気が入る隙間を作らずに、開口部だけを直接向かい合わせられます。前面から開く構造がこの動作を可能にします。
なぜ規格が要るのですか？
装置メーカーが世界中に何社もあるためです。RORZEは公式製品ページで、対応キャリアとして25スロットの300mm FOUP（SEMI E47.1）と25スロットの300mm FOSB（SEMI M31）を挙げています。規格に沿っていれば、どの装置にも同じ容器が載ります。
工場の搬送系とはどう受け渡しますか？
天井走行車や無人搬送車が容器を直接ロードポートへ載せます。RORZEの公式製品ページは、OHTおよびAGVと直結できると述べています。人が運ぶ必要がなくなります。
何台載せますか？
装置が単位時間に流せる枚数に合わせて決まります。流す速さが速い装置では、1台のロードポートが空になるのを待つと装置が止まるため、複数台を並べて交互に使います。
比較・違いを学ぶ
Section titled “比較・違いを学ぶ”- 半導体製造工程の全体像 ── 工程と装置の全体像
この記事の事実は次の一次資料を根拠とし、各URLの到達可否をこちらで実測しています。したがって、リンク先が移動または消滅した場合は、その旨をこのページへ反映します。
- RORZE「ACE EFEM」公式製品ページ（2026年8月22日にリンク生存を実測、200）
- RORZE「Wafer Transfer System」公式製品ページ（2026年8月22日にリンク生存を実測、200）
- 平田機工「Semiconductor」公式ページ（2026年8月22日にリンク生存を実測、200）
- 装置と製造メーカーの行は
intel.equipment_vendor_families（公式製品ページ由来）から生成