FOUP（フープ）とは
FOUP（Front Opening Unified Pod）とは、300mmウェハを密閉して運ぶ搬送容器です。 25枚を収め、前面の扉から出し入れします。
ウェハは工場の中を何百回も移動します。装置から装置へ運ばれるたびに外気へさらされれば、そのつど粒子が付きます。かといって工場全体を最高の清浄度に保つのは、面積が大きいほど費用がかさみます。
FOUPは、清浄にする範囲を絞る答えです。ウェハを密閉した容器へ入れ、搬送中は外気に触れさせません。装置の内部と容器の中だけを高い清浄度に保てば足りるため、工場全体の清浄度は一段緩められます。東京エレクトロンの公式用語集は、クリーンルームを汚染レベルを制御したIC製造用の空間とし、天井から床へろ過した空気が一定の流れで降りること、特に前工程で高い清浄度が要ることを述べています。環境側と容器側で役割を分担します。
前面から開く構造にも理由があります。上面から開ける方式では、開けた瞬間に上から粒子が落ちます。前面の扉を装置側の扉と一緒に開閉すれば、開口部が装置の清浄な空間へ直接つながり、外気が入りません。
規格で共通化されています
Section titled “規格で共通化されています”装置メーカーは世界中に分かれています。成膜は1社、エッチングは別の1社、検査はまた別の1社という構成が普通です。容器の寸法や構造が各社ばらばらであれば、装置ごとに容器を積み替えることになります。
そこでSEMI規格が寸法と構造を定めています。RORZEは公式製品ページで、ACE EFEMの対応キャリアとして25スロットの300mm FOUP（SEMI E47.1）と25スロットの300mm FOSB（SEMI M31）を挙げ、対応ウェハを直径300±0.2mm、厚さ775μmとしています。規格に沿っていれば、どのメーカーの装置のロードポートにも同じ容器が載ります。
FOSBは出荷用の容器です。ウェハメーカーからデバイスメーカーへ運ぶ用途で、工場内を回るFOUPとは規格が分かれます。
関連するデータ・ツール
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- 汚染・パーティクル管理の工程ページ ── 清浄度を守る側
- 装置カタログDB ── 公式製品ページ単位のメーカーと製品family
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”FOUPとは何ですか？
300mmウェハを密閉して運ぶ搬送容器です。RORZEは公式製品ページで、ACE EFEMの対応キャリアとして25スロットの300mm FOUP（SEMI E47.1）と25スロットの300mm FOSB（SEMI M31）を挙げています。
何枚入りますか？
25枚が標準です。RORZEの公式製品ページは25スロットと記載しています。同ページは対応ウェハを直径300±0.2mm、厚さ775μmとしています。
なぜ密閉するのですか？
ウェハの周囲だけを清浄に保つためです。工場全体を最高の清浄度にするより、容器の中と装置の内部だけを清浄にするほうが費用が下がります。搬送中は外気に触れさせません。
フロントオープンとはどういう意味ですか？
前面の扉から出し入れする構造です。上面から開ける方式では、開けた瞬間に上から粒子が落ちます。前面から開き、装置側の扉と一緒に開閉すれば、開口部が装置の清浄な空間へ直接つながります。
なぜ規格で決まっているのですか？
装置メーカーが世界中に分かれているためです。SEMI規格で寸法と構造が共通化されているため、どの装置のロードポートにも同じ容器が載ります。
FOSBとは何ですか？
出荷用の容器です。RORZEの公式製品ページはFOSBをSEMI M31として挙げています。ウェハメーカーからデバイスメーカーへ運ぶ用途で、工場内を回るFOUPとは規格が分かれます。
比較・違いを学ぶ
Section titled “比較・違いを学ぶ”- 半導体製造工程の全体像 ── 工程と装置の全体像
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- RORZE「ACE EFEM」公式製品ページ（2026年8月22日にリンク生存を実測、200）
- 東京エレクトロン 公式用語集「Clean Room」（2026年8月22日にリンク生存を実測、200）