AMHS（自動搬送システム）とは
AMHS（Automated Material Handling System）とは、工場の中でFOUPを自動で運ぶ仕組みの総称です。 天井を走る搬送車、一時保管するストッカー、制御システムで構成されます。
半導体の製造は何百工程にも及びます。ウェハは装置から装置へ、工場の中を何百回も移動します。人が運べば、そのつど粒子が持ち込まれ、取り違えの危険もあり、24時間止まらない工場では人手も足りません。
AMHSがこの搬送を引き受けます。天井に敷いたレールを搬送車が走り、装置のロードポートへ直接容器を置きます。ダイフクは公式製品ページで、半導体生産ライン向けの天井モノレールシステムとしてCleanway、レチクル用としてReticle Cleanwayを掲載しています。村田機械も公式ページでクリーンFAの搬送システムを掲載しています。
天井を走らせる理由は2つあります。クリーンルームの床面積は費用そのものであり、装置を置く場所を搬送路で削りたくありません。加えて天井は気流の下流側にあたるため、搬送車から出る粒子がウェハへ届きにくくなります。RORZEは公式製品ページで、ACE EFEMがOHTおよびAGVとの接続に対応すると述べています。
ストッカーと制御
Section titled “ストッカーと制御”すべての容器がすぐ次の装置へ入れるわけではありません。装置が埋まっていれば待ちが生じます。ダイフクは公式製品ページで、自動倉庫としてClean Stocker、Zip Tower 30、および窒素パージストッカーを掲載しています。
窒素パージには理由があります。待ち時間が長くなると、容器内のわずかな水分や酸素でウェハ表面が変化します。特に金属を露出した状態や、洗浄直後の面では影響が出ます。容器内を窒素で置き換えれば、この変化を抑えられます。
搬送そのものが生産能力を決めます。装置がいくら速くても、次の容器が届かなければ止まります。同じ公式製品ページは、マテリアルコントロールシステムxMCS、メインコントロールプロセッサMCP7、ストッカースケジューリングシステムSSSを掲載しています。どの容器をどこへ、いつ運ぶかという判断が、工場全体の処理能力を左右します。
この用語に対応する装置と製造メーカー
Section titled “この用語に対応する装置と製造メーカー”装置カタログDBから、この用語に一致する製品familyを持つメーカー 3社／3family を引いています。 各行は各社の公式製品ページを出典とします。 DBからの生成日: 2026-08-22
- Daifuku
- Cleanway semiconductor transport systemsPackaging / Factory Automation
- Muratec
- Clean FA transport systemsPackaging / Factory Automation
- SEMES
- Michelan etcher / line automation / test supportEtch / Line Automation / Test
出典は各社の公式製品ページです。 装置カタログDB では、同じ製品familyを工程・メーカー横断で検索できます。
関連するデータ・ツール
Section titled “関連するデータ・ツール”- 工場自動化・AMHS・CIM・MESの工程ページ ── 工程分類と、この工程に接続している公開求人
- 工場自動化の求人一覧 ── 現在この工程で募集している企業
- 装置カタログDB ── 公式製品ページ単位のメーカーと製品family
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”AMHSとは何ですか？
工場の中でFOUPを自動で運ぶ仕組みの総称です。天井を走る搬送車、容器を一時保管するストッカー、それらを制御するシステムで構成されます。
OHTとは何ですか？
天井に敷いたレールを走る搬送車です。ダイフクは公式製品ページで、半導体生産ライン向けの天井モノレールシステムとしてCleanway、レチクル用としてReticle Cleanwayを掲載しています。床を占有せず、人と動線が交わりません。
なぜ天井を走らせるのですか？
床を空けるためです。クリーンルームの床面積は費用そのものであり、装置を置く場所を搬送路で削りたくありません。天井なら気流の下流側でもあるため、粒子の影響も抑えられます。
ストッカーは何をしますか？
容器を一時保管します。ダイフクは公式製品ページで、自動倉庫としてClean Stocker、Zip Tower 30、窒素パージストッカーを掲載しています。次の工程の装置が空くまで待つ容器を、清浄な状態で保管します。
窒素パージとは何ですか？
容器の中を窒素で満たして保管することです。待ち時間が長くなると、容器内のわずかな水分や酸素でウェハ表面が変化します。窒素で置き換えれば、この変化を抑えられます。
搬送が生産能力を決めるのですか？
決めます。装置がいくら速くても、次の容器が届かなければ止まります。ダイフクは公式製品ページで、マテリアルコントロールシステムxMCS、メインコントロールプロセッサMCP7、ストッカースケジューリングシステムSSSを掲載しています。搬送の順序と割り当てが処理能力を左右します。
比較・違いを学ぶ
Section titled “比較・違いを学ぶ”- 半導体製造工程の全体像 ── 工程と装置の全体像
この記事の事実は次の一次資料を根拠とし、各URLの到達可否をこちらで実測しています。したがって、リンク先が移動または消滅した場合は、その旨をこのページへ反映します。