半導体製造ラボ

後工程・パッケージング

ボンディング・接合(全体)

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チップ、ウェーハ、配線を電気的・機械的に接続する工程。

この工程で何をするか

  • ワイヤ、バンプ、直接接合で端子をつなぐ
  • 接合位置・強度・界面品質を管理する

代表的な装置・設備

  • ワイヤボンダ
  • ダイボンダ
  • ウェーハボンダ

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Bondingボンディング接合工程Hybrid Bonding

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