半導体製造ラボ

後工程・パッケージング

ダイシング・個片化

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ウェーハを個々のチップへ分離する精密切断工程。

この工程で何をするか

  • ブレードやレーザーでウェーハを切断する
  • 欠け・汚染・位置精度を管理する

代表的な装置・設備

  • ダイサ
  • レーザーダイシング装置
  • テープマウンタ

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ダイシングDicingダイサ精密切断

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