ALD/ALEとは｜AVSの原子層堆積・原子層エッチング国際会議、2027年Dresden開催の会期・締切・掲載先

call for papers topics

公式が挙げる対象トピック

• Area Selective ALD（AS1–AS4） 2026年サイクルの投稿トピック。Area-Activation、Area-Deactivation、Inherently Selective Processesの3系統に分けて投稿区分が設定されている。
• Atomic Layer Etching（ALE1–ALE15） 2026年サイクルの投稿トピック。plasma/thermal/wetの各方式に加え、Materials Selective ALE、ALD+ALE統合、Sustainabilityまでを区分している。
• ULSI FEOL/BEOL Materials and Devices（AA3） 2026年サイクルの投稿トピック。Memory Applications（AA4）、3D Semiconductor Devices（AA6）と並ぶ半導体応用の投稿区分。
• Precursor Design and Development（AF1） 2026年サイクルの投稿トピック。同年のtutorialでもADEKAの講演者が前駆体分子とALD/ASD/ALEプロセスの関係を扱っている。
• Plasma Enhanced ALD（AF4）／Low Temperature ALD（AF6） 2026年サイクルの投稿トピック。ALD Fundamentals: Growth and Characterizationグループ内の成膜手法別区分。
• AI/ML・データ解析（AF2、AM3、ALE13） 2026年サイクルの投稿トピック。ALD側はProcess Modeling: AI/ML/Ab Initio ModelingとProcess Analysis and Control、ALE側はProcess Data Analytics, Machine Learning, and AI。
• Atomic Layer Cleaning（ALE7） 2026年サイクルの投稿トピック。Surface Passivationと同一区分にまとめられている。
• ALD for Manufacturing（AM1–AM4） 2026年サイクルの投稿トピック。大型装置設計、プロセス制御、前駆体供給、Spatial/Fast ALD、Process Analysis and Controlを含む量産側の区分。

identity

正式名称と主催・回次

検索でよく使われる「ALD/ALE」は、ALDの国際会議と、そこに併設されるALEワークショップをまとめた通称です。公式表記では2つのイベント名が「featuring」でつながれており、回次もALDとALEで別々に数えられます。文献検索や社内申請で名称を書くときは、年号入りの略称（ALD 2027 / ALE 2027）と、ALD側・ALE側どちらの回次を指すのかを分けて書くと混乱しません。

2027 正式名称

AVS 27th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2027) featuring the 14th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2027) 公式トップページ冒頭に1文で記載されている表記。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 回次

ALDは27th（第27回）、ALEは14th（第14回） ALDとALEで回次が異なる。同一年でも数字が一致しない点に注意。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2026 回次

AVS 26th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2026) featuring the 13th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2026) 前サイクルの公式トップページの表記。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

主催表記

正式名称の冒頭に「AVS」が冠され、公式サイトはavs.orgのサブドメイン（ald2027.avs.org）に置かれている ページ内のロゴリンク先もhttps://www.avs.org。共催・技術協賛の一覧は公式トップページには掲載されていない。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 運営窓口

Della Miller, Event Manager, AVS（[email protected] / (530) 896-0477） 2027年サイクルのAbstract Submissionページの問い合わせ先として掲載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

開催頻度の明記

公式トップページ本文に「毎年開催」等の頻度の明示はなく、「Since 2001, the ALD conference has been held alternately in the United States, Europe and Asia」という地域ローテーションの記述のみが置かれている 頻度は公式文言としては未記載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

cycle

2027サイクルの会期・会場と2026サイクルの実績

2027年はDresden開催で、会場と宿泊が同一施設（Maritim Hotel & International Congress Center Dresden）に置かれています。日程は日曜がtutorialとwelcome reception、月曜から水曜が本会議とtradeshowという構成で、渡航日程を組むときは日曜午前から水曜夕方までを押さえる前提になります。2028年サイクルの開催地・会期は2027年公式サイトには掲載されていません。

2027 会期

Sunday, June 20 – Wednesday, June 23, 2027 公式トップページの日程表記。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 開催都市・国

Dresden, Germany 公式トップページの開催地表記。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 会場

Maritim Hotel & International Congress Center Dresden（Devrientstraße 10-12, 01067 Dresden） Housing & Travelページに会場兼宿泊施設として住所付きで掲載。エルベ川沿い、旧市街に近いと記載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 開催形式（日程構成）

「As in past conferences, the meeting will be preceded (Sunday, June 20) by one day of tutorials and perspectives and a welcome reception. Sessions will take place (Monday-Wednesday, June 21-23) along with an industry tradeshow.」 現地開催の日程構成として記載。hybrid・onlineの案内はこのページにはない。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 宿泊料金と予約期限

Single Classic/Superior 165€、Double Classic/Superior 191€、Single Suite 199€、Double Suite 225€。Hotel reservations deadline: May 7, 2027 朝食とプール利用を含む会議レートとして掲載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 空港アクセス

「Dresden Airport is located in Klotzsche, a district of Dresden 9 km north of the city centre.」。代替としてBerlin, Prague, Frankfurt, Munichからの鉄道接続が案内されている Housing & Travelページの交通案内。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2026 会期・会場

Sunday, June 28 – Wednesday, July 1, 2026、JW Marriott Water Street, Tampa, Florida 前サイクルの公式トップページ。地域ローテーションの直近実績として参照できる。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 想定参加者数

「Anticipated attendance is 700+.」 2026年サイクルの見込み値としての記載。2027年サイクルについては同種の記載がない。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

scope

対象技術領域と投稿トピック構成

対象は「原子層レベルで制御された薄膜堆積」と「原子層エッチング」で、ALD側は応用・基礎・量産・面選択性・新材料の5グループ、ALE側は単一グループの通し番号で区切られています。半導体プロセス担当が直接あたるのはAA3（ULSI FEOL/BEOL）、AA4（Memory）、AA6（3D Semiconductor Devices）、AS群（Area Selective ALD）、ALE群です。電池・触媒・バイオといった非半導体応用も同じ投稿トピック表に並んでいるため、プログラム全体が半導体一色ではない点を前提に読む必要があります。なお、以下のトピック構成はいずれも2026年サイクルのAbstract Submissionページの記載で、2027年サイクルのトピック一覧は2026年8月5日時点では公開されていません。

2027 対象領域の公式文言

「will be dedicated to the science and technology of atomic layer controlled deposition of thin films and atomic layer etching」 公式トップページのスコープ記述。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2026 ALD側トラック構成

ALD Applications（AA1–AA10）、ALD Fundamentals: Growth and Characterization（AF1–AF8）、ALD For Manufacturing（AM1–AM4）、Area Selective Atomic Layer Deposition（AS1–AS4）、Emerging Materials（EM1–EM9） 2026年のAbstract Submissionページに掲載された投稿トピック一覧。各グループの末尾番号はポスターセッション。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 ALE側トピック構成

ALE1 Plasma and/or Energy-Enhanced ALE / ALE2 Gas-phase and/or Thermal ALE / ALE3 Solution-based Including Wet ALE / ALE4 Materials Selective ALE, Including Area-Selective (Without Masks) / ALE5 ALE Hardware & Instrumentation / ALE6 Modeling of ALE / ALE7 Atomic Layer Cleaning (ALC) + Surface Passivation / ALE8 Integration of ALD + ALE, Also with Other Processing Methods / ALE9 Applications for ALE / ALE10 Alternative Methods to Achieve ALE or Quasi-ALE / ALE11 Metrology & Diagnostics in ALE / ALE12 Emerging Topics in ALE / ALE13 Process Data Analytics, Machine Learning, and AI for ALD and ALE Manufacturing / ALE14 Sustainability / ALE15 Atomic Layer Etching Poster Session 2026年のAbstract Submissionページ掲載（ALE9の括弧内の例示は省略）。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 半導体デバイス直結のトピック

AA3: ULSI FEOL/BEOL Materials and Devices（High- and Low-k, Contact Metals, Ultrathin Interconnects and Diffusion Barriers）、AA4: Memory Applications（DRAM, RRAM, Flash, Neuromorphic, and More）、AA5: More than Moore Applications、AA6: 3D Semiconductor Devices ALD Applicationsグループ内の項目。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 面選択性（ASD）の扱い

AS1: Selective ALD by Area-Activation、AS2: Selective ALD by Area-Deactivation、AS3: Inherently Selective Processes、AS4: Area Selective ALD Poster Session Area Selective Atomic Layer Depositionが独立グループとして設定されている。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 AI/データ解析の位置づけ

AF2: Process Modeling: AI/ML/Ab Initio Modeling of Reaction Mechanisms and Precursors、AM3: Process Analysis and Control: Metrology, AI/ML for Manufacturing and Digital Twins、ALE13: Process Data Analytics, Machine Learning, and AI for ALD and ALE Manufacturing ALD側とALE側の双方に別トピックとして設定されている。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 対象外領域の明示

2026年の投稿トピック一覧に、対象外分野を明示する記載はない 投稿区分の網羅リストのみが掲載されている。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

submission

投稿区分・書式・締切

投稿は本文2,700文字以内の要旨に、任意で図表用の1ページPDFを添える形式です。1人あたりoral 1件・poster 1件までで、しかも同一要旨の使い回しは認められていません。2027年サイクルは2026年11月17日に受付開始、2027年2月4日締切、3月16日通知という日程が既に公表されています。late news枠の締切は2027年サイクルでは未掲載なので、2026年の日程をそのまま当てはめないでください。

2027 投稿受付開始

Submission Opens: November 17, 2026 Abstract Submissionページの日程欄。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 要旨締切

Abstract Deadline: February 4, 2027 Abstract Submissionページと公式トップページのImportant Dates欄の双方に記載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 採否通知

Author Notifications: March 16, 2027 Abstract Submissionページの日程欄。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 要旨の書式

「abstract 2,700 characters max. including grammar and spacing」。加えて「you may also submit a supplemental 1 page PDF file containing any graphs, charts or pictures」 文字数上限は空白・記号を含む。補足PDFは任意。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 発表本数の上限

「If you are planning to submit multiple abstracts, presenters are limited to one oral and one poster presentation. One submission must be to an oral session and one to a poster session. Must be two DIFFERENT abstracts – not the same abstract submitted as both an oral and a poster」 同一要旨をoralとposterの両方に出すことは認められていない。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 著作権同意

投稿手順の第4ステップとして「Accept the copyright agreement.」が置かれ、copyright agreementのPDFが公式サイトに掲載されている Abstract Submissionページの必須手続き。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 その他の期日

Early Registration Deadline: May 7, 2027、Hotel Reservation Deadline: May 7, 2027、Manuscript Deadline: November 1, 2027 公式トップページのImportant Dates欄。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2026 late news枠（参考）

Late news abstracts: April 9, 2026（2026年サイクル） 2027年サイクルのlate news締切は公表されていない。2026年の日付をそのまま流用しないこと。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

review

審査の仕組みと公表されていない指標

公式サイトが明示しているのは「Author Notificationsという採否通知日が設定されていること」「ALD／ALEそれぞれにProgram Committeeが置かれていること」「JVST A投稿論文は通常のJVST論文と同じ基準で審査されること」の3点です。要旨審査がdouble-blindかどうか、採択率がいくつかは公表されていません。社内で「査読付き」の扱いを判断する場合は、会議要旨の審査とJVST A特集号論文の査読を分けて説明するのが安全です。

2027 要旨の審査方式の記載

Abstract Submissionページに、double-blind等の査読方式や審査観点を説明する記載はない 掲載されているのは締切、書式、本数制限、著作権同意、録音方針など手続き面。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 採否通知の存在

「Author Notifications: March 16, 2027」として採否通知日が設定されている 要旨締切（2月4日）から約6週間後。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

採択率

採択率・投稿件数は公式サイトに公表されていない Abstract Submissionページ、公式トップページのいずれにも数値の記載がない。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 JVST A論文の審査基準

「Papers will be reviewed using the same criteria as regular JVST articles and must meet JVST standards for both technical content and written English.」 Manuscriptsページの記述。会議要旨の審査とは別プロセス。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 JVST A論文の要件

「Present original findings, conclusions or analysis that have not been published previously」「Be free of errors and ambiguities」「Support conclusions with data and analysis」「Be written clearly」「Have high impact in its field」 Manuscriptsページに列挙された掲載要件。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2026 Program Committeeの規模

ALD Program Committeeに48名、ALE Program Committeeに30名が氏名・所属付きで掲載されている 2026年サイクルのCommitteeページ。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2027 発表賞の選考プロセス

ALD Outstanding Presentation Awardは非学生・非early careerの発表者の要旨から5名のfinalistを選出し、最終受賞者はreview committeeが会議での発表に基づいて決定する 「invited speakers are not eligible」と明記されている。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

publication

proceedingsとJVST A特集号

この会議には論文集としてのproceedingsが2層あります。1つは会議参加者向けのもので、口頭発表の音声録音とポスターのPDFで構成され、参加が必須と明記されています。もう1つがJournal of Vacuum Science & Technology A（JVST A）の特集号で、2027年サイクルの原稿締切は2027年11月1日、掲載先は2028年のSpecial Topic Collectionです。IEEE Xploreに収録される形式ではないため、文献引用の想定先を誤らないようにしてください。

2027 論文の掲載先

Journal of Vacuum Science & Technology A（JVST A）の「2028 Special Topic Collection on Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching」 Manuscriptsページ冒頭に掲載先として明記。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 原稿締切

Manuscript Deadline: November 1, 2027 会期（6月）から約4か月半後。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 特集号の投稿資格

会議発表分が大きな割合を占めることが想定されるとしつつ、「research articles on ALD and ALE but not presented at this conference are also welcome」と記載されている 会議で発表していない論文も特集号に投稿できる。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 会議proceedingsの構成

「All ALD/ALE oral presentations, including the question and answer period and any discussions, will be audio recorded and synchronized with your PowerPoint presentation file and compiled into conference proceedings accessible to all attendees after the meeting.」「The conference proceedings will also include PDF files of the poster presentations.」 Abstract Submissionページの記載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 proceedings参加の義務

「Participation in the conference proceedings is mandatory」 投稿者は会議proceedingsへの収録に同意する必要がある。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2026 参加者への提供形態

「All presentations will be audio-recorded and provided to attendees following the conference (posters will be included as PDFs).」 2026年サイクルの公式トップページ。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 公開範囲（登録者向け）

参加登録に「Access to Presentations Post Conference in the AVS Technical Library」が含まれる 登録ページに含まれるものとして記載。一般公開ではなく登録者向けの提供。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2027 論文賞と公開期間

JVST A Best ALD and ALE Paper Awardは「Eligible papers will include at least one author who participated in the ALD Conference or ALE Workshop.」とされ、「winning papers will be made freely available for a period of two years」と記載されている 「Authors on the winning papers will share a $1,000 cash award per paper and each of them will be presented with a certificate.」と記載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

program

プログラム構成とtutorial・展示

2027年のプログラムは2026年8月5日時点でplenary・invited・tutorialすべてが「Coming Soon」表示で、具体名は公表されていません。構成を掴むには2026年サイクルのProgramページが実用的で、tutorialは6件、ALD invitedが12名、ALE invitedが6名という規模でした。発表時間は2027年のPresentation Guidelinesで既に確定しており、contributed 15分・invited 30分・plenary 45分（いずれもQ&A込み）です。

2027 講演者の公表状況

ALD Plenary Speaker、ALD Invited Speakers、ALE Invited Speakers、Tutorial Speakersはいずれも「Coming Soon」と表示されている 2026-08-05時点のProgramページ。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 発表時間

contributed presentations「15 minutes total, including the question and answer time」、invited「30 minutes total, including the question and answer time」、plenary「45 minutes total including the question and answer time」 Presentation Guidelinesページ。スライドは16:9推奨、当日朝にUSBでマスターPCへアップロード。tutorialの持ち時間は同ページに記載がない。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 ポスターセッションの時間帯

月曜 5:45–7:00 p.m.、火曜 5:45–7:00 p.m. 月曜分は当日10:00以降に掲示、火曜1:20 p.m.撤去。火曜分は当日15:00以降掲示、水曜1:20 p.m.撤去と記載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2026 tutorial（6件）

Atsushi Sakurai（ADEKA CORPORATION, Japan）「Connection between Precursor Molecules and ALD/ASD/ALE Processes」／W.M.M. (Erwin) Kessels（Eindhoven University of Technology, The Netherlands）「Current and Future Perspectives on Atomic Layer Deposition」／Thomas Tillocher（GREMI – Orleans University – CNRS, France）「Current and Future Perspectives on Atomic Layer Etching」／Han-Bo-Ram (Boram) Lee（Incheon National University, South Korea）「Current and Future Perspectives of Area-Selective Deposition」／Paul Poodt（SparkNano and Eindhoven University of Technology, The Netherlands）「Atomic Layer Deposition from Lab-to-Fab」／James Hilfiker（J. A. Woollam Co., Inc., USA）「Advances in Spectroscopic Ellipsometry for ALD and ALE Thin Film Characterization」 2026年サイクルのProgramページ掲載。所属は同ページの表記どおり。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 ALD invited speakers（12名）

Nupur Bihari（Lam Research, USA）、Necmi Biyikli（University of Connecticut, USA）、Kyle Blakeney（Lam Research, USA）、Philipp Brüner（IONTOF Technologies GmbH, Germany）、Kazuhiro Harada（Kokusai Electric, Japan）、Kyooho Jung（Samsung, USA）、Titel Jurca（University of Central Florida, USA）、Tanja Kallio（Aalto University, Finland）、Jin-Seong Park（Hanyang University, South Korea）、Thomas Proslier（CEA Saclay, France）、Henrik Sønsteby（University of Oslo, Norway）、Ruud van Oomen（TU Delft, The Netherlands） 2026年サイクルのProgramページ掲載。所在国は掲載された所属の所在地。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 ALE invited speakers（6名）

Andreas Fischer（Mattson, USA）、Woojin Jeon（Kyung Hee University, South Korea）、Neha Mahuli（Amazon AWS Pasadena, USA）、Dennis van Dorp（imec, Belgium）、Wendy Yan（IBM T.J. Watson Research Center, USA）、Geun Young Yeom（Sungkyunkwan University, South Korea） 2026年サイクルのProgramページ掲載。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2027 併設イベント

「Sessions will take place (Monday-Wednesday, June 21-23) along with an industry tradeshow.」 産業向け展示が本会議と並行して行われる。出展社数・出展料は2027年サイクルでは未掲載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2026 参加者向け付随プログラム

公式サイトのナビゲーションにCareer Center、Scavenger Hunt、Download Mobile App、View Technical Program & Scheduler、Technical Program（PDF）、Abstract Book（PDF）、View Tutorial Abstracts（PDF）、View Tutorial Notesが用意されている 2026年サイクルのトップページのメニュー構成。Tutorial NotesはTutorial Speakersの配下に置かれている。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

community

委員会構成と参加組織

委員会はProgram Chair／Co-Chair、International Advisory Committee、Steering Committee、そしてALD・ALEそれぞれのProgram Committeeという多層構造です。2027年のALD Program ChairはLeibniz Institute, IFW DresdenのAnjana Devi、Co-ChairはLam ResearchのJiyeon KimとAlixLabのJonas Sundqvistで、ALD・ALEのProgram Committee名簿は2026年8月5日時点でTBD表示です。2026年のProgram Committee名簿は大学・国立研究所と、Lam Research・TEL・Intel・Samsung Electronics・SK hynix・ASM・Applied Materials・Oxford Instruments・Adeka Corporation・Air Liquideなどの企業が混在した構成でした。スポンサー・出展社の掲載は当該イベントへの出展・支援の事実のみを示します。

2027 ALD Program Chair／Co-Chair

ALD Program Chair: Anjana Devi（Leibniz Institute, IFW Dresden, Germany）／Co-Chair: Jiyeon Kim（Lam Research, USA）／Co-Chair: Jonas Sundqvist（AlixLab, Sweden） Committeeページの表記どおり。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 ALE Program Chair／Co-Chair

ALE Program Chair: Rémi Dussart（Université d'Orléans, France）／Co-Chair: Dominik Metzler（Black Semiconductor GmBH, Germany） 所属表記は同ページのまま（GmBH表記を含む）。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 Program Committeeの公表状況

ALD Program CommitteeとALE Program Committeeはいずれも「TBD」と表示されている 2026-08-05時点。名簿は未確定。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 ALD International Advisory Committee（12名）

Annelies Delabie（IMEC, Belgium）、Anjana Devi（Leibniz Institute, IFW Dresden, Germany）、Jeffrey Elam（Argonne National Lab, USA）、Steven George（University of Colorado at Boulder, USA）、Cheol Seong Hwang（Seoul National University, South Korea）、Hyeongtag Jeon（Hanyang University, South Korea）、Erwin Kessels（Eindhoven University of Technology, The Netherlands）、Hyungjun Kim（Yonsei University, South Korea）、Sang In Lee（Synos Foundation, USA）、Markku Leskelä（University of Helsinki, Finland）、Gregory N. Parsons（North Carolina State University, USA）、Viljami Pore（ASM, Finland） Committeeページ掲載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 Steering Committee

ALD Steering Committee: Steven George（University of Colorado at Boulder, USA）、Erwin Kessels（University of Eindhoven, The Netherlands）、Han-Bo-Ram (Boram) Lee（Incheon National University, South Korea）、Gregory N. Parsons（North Carolina State University, USA）／ALE Steering Committee: Heeyeop Chae（Sungkyunkwan University, South Korea）、Eric Joseph（IBM, USA）、Keren Kanarik（Lam Research, USA）、Harm Knoops（Oxford Instruments, UK）、Steve George（University of Colorado at Boulder, USA） Committeeページ掲載。ALD側4名、ALE側5名。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2026 Program Committeeの産学構成

ALD Program Committee 48名の所属には大学・国立研究所に加え、Merck KGaA、TEL、Intel、Samsung Electronics、SK hynix、ASM、Lam Research、Applied Materials、Oxford Instruments、Adeka Corporation、Air Liquide、Veeco、Beneq、Forge Nano、SparkNanoなどの企業が含まれる スポンサー掲載とは別に、委員としての参加を示す。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 委員の所属所在国

ALD Program Committeeの所属所在地としてUSA、South Korea、Belgium、Germany、China、The Netherlands、Japan、Finland、Sweden、UK、Ireland、France、Canada、Chile、Vietnamが記載されている 所在国は公式名簿に印字された所属機関の所在地であり、個人の国籍ではない。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 スポンサー・出展社の掲載

Platinum（ADEKA、Angstrom Engineering、ASM、EMD Electronics、Entegris、Kurt J. Lesker Company、Lam Research、Oxford Instruments、Tokyo Electron、UPChem、Veeco Instruments）／Gold（AlixLabs、Beneq、EREZTECH、Exentec、Fujikin、HORIBA、Pegasus Chemicals、Schrödinger、Semilab、Swagelok、TMEIC）／Silver（Epivalence、ProChem）／Bronze（Air Liquide、American Elements、Dock Chemicals、Hitachi High-Tech）の4ティア。別枠のExhibitor Listに出展社名が並ぶ（合計社数の数値は掲載されていない） Sponsors & Exhibitorsページのティア別ロゴ掲載と出展社リスト。当該イベントへの出展・協賛の事実のみを示し、取引関係・売上・採用・共同研究を示すものではない。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

history

起点となる年と開催地ローテーション

公式サイトが歴史について明記しているのは「2001年以降、米国・欧州・アジアで交互に開催されてきた」という1文だけで、第1回の開催地や創設経緯を説明するページは置かれていません。回次の対応関係（2026年=第26回、2027年=第27回）と、直近の開催地（2026年Tampa、2027年Dresden）が公式に確認できます。年次の節目を追う材料としては、2011年から2025年までの各年が並ぶALD Innovator Awardの受賞者一覧が有用です。

起点年の公式記述

「Since 2001, the ALD conference has been held alternately in the United States, Europe and Asia, allowing fruitful exchange of ideas, know-how and practices between scientists.」 「第1回が2001年」と明示する文ではなく、2001年を起点とした地域ローテーションの説明として書かれている。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

回次と年の対応（2027）

2027年 = ALD 27th／ALE 14th 公式トップページの正式名称から読み取れる。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

回次と年の対応（2026）

2026年 = ALD 26th／ALE 13th 2026年サイクルの公式トップページ。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

直近の開催地（北米）

2026年: Tampa, Florida, USA（JW Marriott Water Street） ローテーションの北米回。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

直近の開催地（欧州）

2027年: Dresden, Germany（Maritim Hotel & International Congress Center Dresden） ローテーションの欧州回。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

ALD Innovator Award 受賞者一覧（2011–2025）

2011: Roy Gordon／2012: Markku Leskela／2013: Steve George／2014: Hyeongtag Jeon／2015: Gregory Parsons／2016: Suvi Haukka／2017: Jeff Elam／2018: Hyungjun Kim／2019: W.M.M. (Erwin) Kessels／2020: Mikko Ritala／2021: Stacey F. Bent／2022: Cheol Seong Hwang／2023: Simon Elliott／2024: Annelies Delabie／2025: Christophe Detavernier 2026年サイクルのAwardsページに掲載された過去受賞者リスト。2011年から2025年まで各年の受賞者が列挙されている。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 各賞受賞者

ALD Innovator Awardee: Jin-Seong Park（Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University, Seoul, Republic of Korea）／ALD Outstanding Presentation Award: Paul Ragogna（Western University, Canada）／ALD Young Investigator Award: Takashi Onaya（National Institute for Materials Science, Japan）／ALD Student Oral Presentation: Tippi Verhelle（Ghent University, Belgium）／ALE Student Oral Presentation: Erin Jacoski（University of Colorado Boulder, USA） 2026年サイクルのAwardsページ。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

ALEワークショップの併設形式

正式名称が「... International Conference on Atomic Layer Deposition ... featuring the ... International Atomic Layer Etching Workshop」という形をとり、ALEはALD会議に併設されるワークショップとして表記されている ALD側とALE側で回次が独立して数えられている。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

comparison

他の学会と使い分ける際の判断材料

この会議を他会議と比べるときに効く公式情報は4つあります。堆積（ALD）とエッチング（ALE）を1つのイベントで扱い、2026年の投稿トピック表には両者の統合（ALE8: Integration of ALD + ALE）が置かれていること、論文の掲載先がIEEE系ではなくJVST Aの2028 Special Topic Collectionであること、会議への投稿が2,700文字の要旨ベースでフルペーパーの提出を求めていないこと、そして半導体応用と非半導体応用が同じ投稿トピック表に並んでいることです。以下の事実はいずれもALD/ALE自身のページに書かれた属性であり、他会議側の記載と突き合わせる際の入口として使ってください。なお、併設のindustry tradeshowについては会期中に行われることが書かれているだけで、出展規模を比較できる数値（出展社数・出展面積・出展料）は公式ページに掲載されていません。

堆積とエッチングの同居（2026 投稿トピック）

2026年の投稿トピック一覧はALD側（AA／AF／AM／AS／EM）とALE側（ALE1–ALE15）の双方を含み、ALE8: Integration of ALD + ALE, Also with Other Processing Methodsという統合トピックが設定されている 堆積専業・エッチング専業の会議との差分になる。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

掲載先の系統（2027サイクル）

会議発表からの論文はJournal of Vacuum Science & Technology A（JVST A）の2028 Special Topic Collection on Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etchingに投稿する Manuscriptsページには他の収録先（IEEE Xplore等）への案内はない。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

投稿の重さ（2027サイクル）

会議への投稿は2,700文字以内の要旨に任意の1ページPDFを添える形式で、Abstract Submissionページにフルペーパーの提出を求める記載はない 論文フルペーパー査読を前提とする会議との作業量の差。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

半導体と非半導体応用の併存（2026 投稿トピック）

2026年の投稿トピック表では、ULSI FEOL/BEOL（AA3）、Memory Applications（AA4）、3D Semiconductor Devices（AA6）と並んで、Energy Conversion: Catalysis, Fuel Cells and Solar Energy（AA1）、Batteries and Energy Storage（AA2）、Biological and Pharmaceutical Applications and Coatings（AA8）が同じ表に置かれている 半導体専門会議とは対象範囲の広さが異なる。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

audience

研究室・企業それぞれの使い方

研究室にとっては、学生向け賞と若手賞の枠が明示されているのが実利です。ALD側にはDr. Tuomo Suntola Best Student Oral Presentation Award、ALE側には1位・2位の口頭発表賞があり、いずれも金額が公表されています。Young Investigator Awardは博士取得10年以内（2017年以降）が対象で、応募には期日までのメール連絡が必要なので、投稿とは別のアクションとして工程に入れてください。企業側は、2026年サイクルの参加費の実績と、装置・材料メーカーが並ぶ協賛・出展の枠組みから出張稟議の材料を作れます（2027年サイクルの参加費は未公表です）。

2027 学生賞（ALD）

「ALD Student Finalists will receive a $500 award upon completing the competition.」とされ、Dr. Tuomo Suntola Best Student Oral Presentation Awardの受賞者は「$1,000 cash prize and a certificate」。ポスターは採択された学生ポスター要旨すべてが対象で、水曜のclosing remarksで複数賞を授与 Awardsページの記載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 学生賞（ALE）

口頭発表1位「$1,000.00 USD and a certificate」、2位「$500.00 USD and a certificate」。ポスターは水曜のclosing remarksで複数賞を授与 Awardsページの記載。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 Young Investigator Award

ALD Conferenceで口頭発表し、博士号取得が過去10年以内（「If you received your PhD in 2017 or after」）の者が対象で、最大3名に授与される。賞金は「$1,000 cash prize and a certificate」。4月15日までに[email protected]へ所定事項をメールで連絡する必要がある。2027年の他のALD賞の受賞者は対象外 スポンサーはGO Elementと記載。投稿とは別に応募連絡が必要。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2026 参加費（非会員）

Regular Non-Member: early $750.00 / late $850.00、Student Non-Member: early $650.00 / late $750.00 2026年サイクルの登録ページ。2027年の料金は未公表。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 参加費（会員・部分参加）

Regular Platinum Member $700.00／Student Platinum Member $625.00／Tutorial $150.00／One Day $425.00／Exhibit Staff $675.00。Early Registration Deadline: May 1, 2026 2026年サイクルの登録ページ。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

2026 登録に含まれるもの／キャンセル規定

「Access to Presentations Post Conference in the AVS Technical Library」「Access to the Mobile App and/or Online Scheduler」「Welcome Reception」「Daily Breaks」「Exhibit Hall Strolling Lunches」「Poster Receptions」を含む。学生は有効な学生証の提示が必要。キャンセルは2026年5月23日までの連絡で$150.00の手数料を差し引いて返金、「No refunds can be given for cancellations after May 23, 2026.」 2026年サイクルの登録ページ。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

日本からの登壇実績（2026）

tutorialにAtsushi Sakurai（ADEKA CORPORATION, Japan）、ALD invited speakerにKazuhiro Harada（Kokusai Electric, Japan）が掲載されている 所在国は公式プログラムに印字された所属の所在地。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

日本からの受賞実績（2026）

ALD Young Investigator Award: Takashi Onaya（National Institute for Materials Science, Japan） 2026年サイクルのAwardsページ。 ald2026.avs.org確認日 2026-08-05

caveats

未公開の項目と読み違えやすい箇所

2026年8月5日時点で、2027年サイクルは日程・会場・投稿規定・賞の条件までは公開済みですが、公式サイトが公表していない項目が複数あります。2027年のplenary・invited・tutorial講演者、2027年のALD／ALE Program Committee名簿、2027年の参加登録費の金額、要旨審査の方式（double-blindか否か）、採択率と投稿件数、参加者の国別内訳、2028年サイクルの開催地・会期は、いずれも参照した公式ページに記載がありません。ポスターボードの寸法も2027年のPresentation Guidelinesでは空欄のままです。2026年のSponsors & Exhibitorsページはティア別のスポンサー名と出展社名の一覧のみで、出展社の合計数は数値として示されていません。ald2025.avs.orgはメンテナンス表示のため、過去サイクルの一次確認は2026年サイクル以降のページに限られます。また、ALDの回次とALEの回次が同一年でも一致しないため、社内資料で「第N回」と書く際は必ずどちらを指すか明示してください。

2027 講演者未公表

plenary、ALD invited、ALE invited、tutorialのいずれも「Coming Soon」表示 2026-08-05時点。プログラム詳細を要する検討は2026年サイクルのページで代替する必要がある。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 Program Committee未確定

ALD Program CommitteeとALE Program Committeeが「TBD」表示 Chair／Co-Chairと諮問・運営委員会のみ確定。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 ポスターボード寸法が空欄

Presentation Guidelinesに「The poster boards will be __ inches wide x __inches high」「please make your poster no larger than __ inches wide x ___ inches high」とプレースホルダのまま掲載されている ポスター作成寸法は確定していない。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 参加費未公表

公式トップページのImportant DatesにEarly Registration Deadline: May 7, 2027の期日はあるが、料金表は掲載されていない 金額は2026年サイクルの実績から推し量らないこと。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

2027 要旨審査方式が未記載

Abstract Submissionページには締切・書式・本数制限・著作権同意・録音方針のみが置かれ、査読方式や審査観点、採択率・投稿件数の数値は掲載されていない 「査読付き」の社内判断は、会議要旨の審査とJVST A特集号の査読を分けて説明する必要がある。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

過去年サイトの状態

ald2025.avs.orgは2026-08-05時点で「Site is undergoing maintenance」「Site will be available soon. Thank you for your patience!」と表示され、会議情報が参照できない 過去サイクルの一次確認は2026年サイクル以降のページに限られる。 ald2025.avs.org確認日 2026-08-05

回次の取り違え

同一年でもALDとALEの回次が異なる（2027年はALD 27th／ALE 14th、2026年はALD 26th／ALE 13th） 「第14回」だけを書くとALEの回次を指してしまう。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

公式表記の揺れ

2027年Committeeページの所属表記に「Black Semiconductor GmBH」「AlixLab」があり、2026年のSponsorsページでは「AlixLabs」と表記されている 社名の綴りがページ間で一致しない箇所がある。引用時は参照ページの表記に合わせる。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

このページで扱わない範囲

2028年サイクルの開催地・会期、採択率・投稿件数、参加者の国別内訳は、参照した公式ページ（2027年・2026年サイクル）に記載がないため扱わない スポンサー・出展社の掲載は当該イベントへの出展・支援を示すのみで、取引・売上・採用・共同研究を示すものではない。 ald2027.avs.org確認日 2026-08-05

faq

よくある疑問

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