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conference research / Tier s

SPIE ALP学会研究

lithography の主会議で、High-NA、mask、resist、metrology、patterning integration を分けて確認できます。

SPIE Advanced Lithography + Patterningは、露光 / パターニング / 配線 / 量産の観点から High-NA EUV、mask、resist、metrology、advanced patterning を確認するための学会です。公式ページ、募集要項、program、proceedings を分けて確認し、研究室DBや求人DBの分類軸へ接続します。

snapshot

基本データ

Tier S

3大国際会議以外の主要学会として、分野別に確認する。

分野 露光 / パターニング / 配線 / 量産

研究室DBと技術レーダーのfield接続に使う。

ジャンル BEOL / 配線・製造

FEOL、BEOL、3DI、回路、WBG、フォトニクス、信頼性へ接続する。

開催サイクル 2027-02-21〜25 / San Jose, California, US

2027会期確定 / CFP更新待ち

投稿形式 conference ごとに abstract / manuscript 指定

topics

研究テーマと企業調査へ変換する

coverage

lithography の主会議で、High-NA、mask、resist、metrology、patterning integration を分けて確認できます。

監視テーマ

High-NA EUV、mask、resist、metrology、advanced patterning

CFPから抽出する論点

公式eventページで2027年2月21〜25日のSan Jose開催を確認。締切は次回CFP公開後に別更新する。

年次比較で残す比較軸

High-NA、NIL、metrology を conference 単位で年次比較すると、露光周辺のボトルネック移動を追跡できます。

deadlines

投稿・採択イベント

締切日付は未取得です。募集要項ページで最新サイクルを確認してください。

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関連ページ

研究室DBの学会発表実績タグは、公式業績・program・researchmap/KAKEN成果などで実際の発表が確認できた場合だけ表示します。候補・近接テーマだけでは接続しません。

sources

公式確認リンク