半導体検査・計測装置メーカー一覧（2ページ目）

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半導体検査・計測装置メーカー一覧

欠陥検査、レビュー、オーバーレイ、寸法・膜厚計測などの装置を、用途と代表モデルで比較できる一覧です。

21社・35製品群のうち、19〜35件を表示しています。各「公式」リンクはメーカー公開ページへ移動します。

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temporary bonding hybrid bonding wafer thinning etch metrology ALD CMP electrofill

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工程別一覧: 21社 / 35製品群（19〜35件を表示、全62社 / 203製品群）

会社 装置ファミリー 工程内シェア 代表モデル 公式

Bruker Inspect

Metrology / AFM

InSight 300 automated AFM

fab-ready automated AFM metrology system です。CMP、etch depth、roughness、hybrid bonding surface profiling などのinline計測を確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

InSight 300 / TrueSense / CDMode +1

公式

Evident Inspect

Inspection / Failure Analysis

Semiconductor wafer inspection microscopes

wafer / flat panel display inspection microscope の棚です。fab tool本体ではなく、inspection、failure analysis、工程確認用の補助装置として区別します。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

semiconductor wafer inspection microscope / failure analysis microscope / flat panel display inspection

公式

Evatec Inspect

Power Devices / Backside Metallization

Power device thin film / BAK family

IGBT、MOSFET、SiC / GaN power device向けのfrontside / backside metal stack棚です。CLUSTERLINEとBAK familyをpower semiconductor側の薄膜装置として確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

CLUSTERLINE 200 / CLUSTERLINE 300 / BAK family +2

公式

Lasertec Inspect

Inspection / Metrology

ACTIS / ABICS EUV mask inspection family

EUV patterned mask inspection と EUV mask blank inspection / review の棚です。EUV mask 側の検査装置を KLA 系 inspection と分けて確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

ACTIS A300 Series / ACTIS A150 / ACTIS A200HiT Series +2

公式

Lasertec Inspect

Inspection / Metrology

MATRICS / MAGICS DUV mask inspection family

DUV photomask inspection、mask blank inspection / review、phase-shift measurement の棚です。legacyから先端maskまでのinspection導線を補完します。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

MATRICS X810EX / MATRICS X800LITE / MATRICS X712 +4

公式

Lasertec Inspect

Inspection / Metrology

SICA / GALOIS / CIRIUS / LX wafer inspection family

SiC、GaN、multi-wavelength wafer inspection、wafer edge measurement、TSV back grinding measurement をまとめた wafer-side inspection 棚です。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

SICA108 / SICA88 / GALOIS211 +8

公式

Toray Engineering Inspect

Inspection / Metrology

HS-930e PLP foreign particle inspection

panel-level package 用ガラス基板の異物検査棚です。advanced packaging の panel 化に伴う inspection を工程別に追う入口になります。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

HS-930e

公式

Toray Engineering Inspect

Inspection / Metrology

INSPECTRA / NGR wafer inspection and verification

optical wafer appearance inspection と electron beam pattern verification の棚です。Die to Database algorithm を使う NGR と optical inspection を分けて確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

INSPECTRA / NGR

公式

HORIBA Inspect

Measurement / Process Control

HORIBA control / measurement / analysis solutions

半導体製造process向けの control、measurement、analysis をまとめた棚です。process tool周辺のMFC、gas、液体、分析系を確認する入口になります。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Control / Measurement / Analysis

公式

Y.A.C. BEAM Inspect

Laser Processing

Laser etching / micro multi laser drilling machines

laser etching と micro multi laser drilling の棚です。advanced substrate、package、micro drilling周辺のprocess tool候補として確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Laser Etching Machine / Micro Multi Laser Drilling Machine

公式

PVA TePla Inspect

Crystal Growth / SiC Substrate

SiCma physical vapor transport systems

SiCやAlNのcompound semiconductor crystalをPVTで成長する棚です。SiC power semiconductorのwafer供給側を装置catalogに接続します。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

SiCma / Physical Vapor Transport systems / PVT crystal growth systems

公式

PVA TePla Inspect

Inspection / Metrology

Scanning acoustic microscopy / ellipsometry inspection systems

wafer inspection、power device inspection、advanced package defect inspectionを非破壊で確認するmetrology棚です。SAMとellipsometryを材料・膜厚評価の入口として整理します。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Scanning Acoustic Microscopy / Auto Wafer 300 / SAM system +1

公式

RIBER Inspect

MBE / Research and Pilot

Compact 21 / MBE 412 research and pilot systems

3-inch researchから4-inch pilot productionへつなぐMBE棚です。III-V、II-VI、group IV、oxides、metalsの研究開発装置として整理します。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Compact 21 / MBE 412 / research MBE +1

公式

ACM Research Inspect

Polishing / Surface Processing

Stress-free polishing equipment

CMP隣接の表面処理棚です。ウェット、めっき、研磨周辺を同一企業内で見るための補助工程として確認します。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Stress-free polishing equipment / SFP equipment

公式

Skyverse Technology Inspect

CD-SEM / Metrology

CD-SEM product announcement

CD-SEM の棚です。微細寸法計測とプロセス制御の競争軸で、Hitachi High-Tech などと比較します。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

CD-SEM / Critical dimension SEM

公式

Skyverse Technology Inspect

Metrology

Overlay / OCD / film thickness metrology equipment

overlay、OCD、膜厚、表面形状などの計測棚です。リソグラフィ、成膜、エッチング後の工程制御を確認します。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Overlay metrology / OCD metrology / Film thickness metrology +1

公式

Skyverse Technology Inspect

Inspection

Patterned and unpatterned defect inspection equipment

パターン付き/なしウエハ欠陥検査の棚です。歩留まり解析と欠陥低減の工程でKLA系装置と比較します。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Patterned wafer defect inspection / Unpatterned wafer defect inspection / Defect inspection equipment

公式

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