半導体検査・計測装置メーカー一覧

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半導体検査・計測装置メーカー一覧

欠陥検査、レビュー、オーバーレイ、寸法・膜厚計測などの装置を、用途と代表モデルで比較できる一覧です。

21社・35製品群のうち、1〜18件を表示しています。各「公式」リンクはメーカー公開ページへ移動します。

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temporary bonding hybrid bonding wafer thinning etch metrology ALD CMP electrofill

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工程別一覧: 21社 / 35製品群（1〜18件を表示、全62社 / 203製品群）

会社 装置ファミリー 工程内シェア 代表モデル 公式

SCREEN Inspect

Measurement

RE / VM film-thickness systems

ellipsometric と spectroscopic measurement の棚です。膜厚や関連指標をどこまで inline に寄せるかを確認するときに使えます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

RE-3500 / VM-2500 / VM-3500 / VM-1200 / VM-1300 +1

公式

SCREEN Inspect

Inspection

ZI pattern inspection family

pattern inspection 群です。SCREEN の measurement と inspection がどこで分かれるかを見分けるときに使えます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

ZI-3600 / ZI-2000

公式

AMAT Inspect

Metrology / Inspection

PROVision 10 eBeam Metrology

sub-nanometer resolution と through-layer imaging を前面に出した eBeam metrology です。GAA、next-generation DRAM、HBM、backside power delivery の multilayer measurement を一つの line として扱えます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

PROVision 10

公式

KLA Inspect

Defect Review

eDRX / eDR7380

e-beam review の棚です。inspection で検出した異常を再確認するときの downstream tool として位置づけられます。

工程内シェア Process control total 54.4%

代表モデル

eDRX1 / eDR7380

公式

KLA Inspect

Overlay Metrology

Archer family

overlay metrology の主力群です。pattern alignment を inspection と分けて確認するときの入口になります。

工程内シェア Process control total 54.4%; public exact overlay-only share not stated

代表モデル

Archer 750 / Archer 800

公式

KLA Inspect

Compound-Semiconductor Inspection

Candela family

SiC や GaN を含む compound semiconductor inspection の棚です。surface と PL inspection を切り分けて確認できます。

工程内シェア Process control total 54.4%

代表モデル

Candela 8520 / Candela 8720 / Candela 8420

公式

ASML Inspect

E-beam Inspection / Metrology

HMI eScan / eP family

HMI を含む e-beam inspection / metrology 群です。YieldStar と並ぶ process control 側の棚として確認できます。

工程内シェア 12.8% inspection / metrology bucket share

代表モデル

HMI eScan 1100 / HMI eScan 1000 / HMI eScan 600 +1

公式

ASML Inspect

Optical Metrology

YieldStar family

optical metrology の主力群です。overlay と pattern quality を scanner 隣接で確認できます。

工程内シェア 12.8% inspection / metrology bucket share

代表モデル

YieldStar 1385 / YieldStar 1390 / YieldStar 500 +1

公式

Nikon Inspect

Metrology / Inspection

Litho Booster / AMI / OPTISTATION

alignment station、macro inspection、wafer inspection を lithography 隣接で見る family です。露光装置だけではない補正・検査の接続を確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Litho Booster / AMI-5700 / OPTISTATION-3200 / 3100 / 3000 +1

公式

Hitachi High-Tech Inspect

Inspection / Metrology

CD-SEM / wafer defect inspection family

CD-SEM、wafer surface inspection、dark field defect inspection を含む process control family です。etch 後の寸法・欠陥確認と High-NA 世代の metrology 接点を確認できます。

工程内シェア 8.2% external inspection share

代表モデル

GT2000 CD-SEM / CD-SEM / Wafer Surface Inspection System +1

公式

NuFlare Technology Inspect

Inspection / Metrology

NPI mask inspection systems

photomask pattern defectを検出する mask inspection family です。EB mask writer後の検査工程として確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

NPI-8000 / NPI-8000V

公式

Onto Innovation Inspect

Metrology

Atlas / Echo metrology systems

optical CD / thin-film metrology と opto-acoustic film metrology を並べる棚です。front-end metal film、OCD、advanced packaging UBM/RDL を確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Atlas III+ / Echo / PULSE technology +1

公式

Onto Innovation Inspect

Inspection / Metrology

Dragonfly G3

2D/3D inspection と feature metrology を組み合わせた pattern inspection system です。R&DからHVMまでの defect detection と metrology 接続を確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Dragonfly G3 / Clearfind Technology / 2D/3D metrology

公式

Camtek Inspect

Inspection / Metrology

Eagle G5

advanced packaging 向けの surface inspection / metrology platform です。multi-RDL、FOWLP、2.5D、CISなどの検査用途を確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Eagle G5 / Clear-Sight Technology / Eagle family

公式

Nova Inspect

Metrology / Materials

Nova Metrion / Elipson

inline SIMS と Raman spectroscopy による materials metrology です。dopant、composition、strain、crystallinityの量産ライン計測を確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Nova Metrion / Nova Elipson / SIMS +1

公式

Nova Inspect

Metrology / Optical CD

Nova Prism

optical critical dimension metrology platform です。advanced logic、DRAM、3D NANDの構造寸法モニタリングを確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Nova Prism / Nova MARS / Nova Fit

公式

Nova Inspect

Metrology / X-ray

Nova VeraFlex

in-line XPS / XRF materials metrology system です。薄膜組成と膜厚を量産中に追う装置棚として確認できます。

工程内シェア Public exact share not disclosed

代表モデル

Nova VeraFlex / VeraFlex IV / LE-XRF +1

公式

Bruker Inspect

Metrology / Inspection

Bruker semiconductor metrology suite

AFM、white-light interferometry、X-ray metrology などを含む semiconductor metrology suite です。front-end、back-end、R&Dを横断する計測棚です。

工程内シェア 75% of the world top 25 semiconductor manufacturers rely on Bruker metrology tools

代表モデル

Automated AFM / WLI metrology / X-ray metrology +1

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