DUV（深紫外線）とは
DUV（Deep Ultraviolet、深紫外線）とは、EUVより波長の長い紫外線を使う露光方式の総称です。 ArFとKrFのエキシマレーザが光源に使われます。
DUVはEUV以前の主力であり、EUV世代になっても主力であり続けています。1つのチップを作るには何十層もの露光が要りますが、すべての層が最先端の寸法を要求するわけではありません。上層の配線や電源の層は寸法が緩く、DUVで十分に作れます。
光源は2種類あります。ArF（フッ化アルゴン）とKrF（フッ化クリプトン）のエキシマレーザです。ArFのほうが波長が短く、より細かいパターンを分離できます。KrFはArFより緩い層で使われ、装置も安価になります。ASMLは公式製品ページで、ArF液浸のTWINSCAN NXT:2150iやNXT:2100i、KrFドライのTWINSCAN XT:1060KやNXT:870Bなどを掲載しています。
処理能力も選択の理由になります。同じ公式製品ページは、KrFドライのTWINSCAN NXT:870Bが300mmウェーハを毎時400枚という業界初の処理能力で露光すると述べています。緩い層を大量に流す用途では、この能力が費用へ直結します。
液浸とドライ
Section titled “液浸とドライ”液浸は、レンズとウェーハの間に液体を入れる方式です。液体の屈折率のぶん実効的な開口数が上がるため、同じ波長でも解像度が改善します。ASMLの公式製品ページは、液浸システムが業界の主力であり、最先端のロジックおよびメモリチップの量産において生産性、結像性能、オーバーレイ性能で業界を先導していると述べています。
ドライは液体を使わない方式です。解像度では液浸に劣りますが、装置の構成が単純で、処理能力と保守の面で有利になります。緩い層を大量に流す用途に向きます。
ニコンも公式ページで、前工程向けリソグラフィシステムとしてNSRシリーズを掲載しています。
この用語に対応する装置と製造メーカー
Section titled “この用語に対応する装置と製造メーカー”装置カタログDBから、この用語に一致する製品familyを持つメーカー 3社／3family を引いています。 各行は各社の公式製品ページを出典とします。 DBからの生成日: 2026-08-22
- ASMLジャパン
- TWINSCAN NXT / XT DUV familyDUV Lithography
- レーザーテック
- MATRICS / MAGICS DUV mask inspection familyInspection / Metrology
- SEMES
- OMEGA photo track / spinner familyLithography / Track
出典は各社の公式製品ページです。 装置カタログDB では、同じ製品familyを工程・メーカー横断で検索できます。
関連するデータ・ツール
Section titled “関連するデータ・ツール”- 露光（EUV・DUV・NIL）の工程ページ ── 工程分類と、この工程に接続している公開求人
- リソグラフィ（全体）の工程ページ ── リソグラフィ工程の全体
- 装置カタログDB ── 公式製品ページ単位のメーカーと製品family
よくある質問（FAQ）
Section titled “よくある質問（FAQ）”DUVとは何ですか？
DUV（Deep Ultraviolet、深紫外線）は、EUVより波長の長い紫外線を使う露光方式の総称です。ArF（フッ化アルゴン）とKrF（フッ化クリプトン）のエキシマレーザが光源として使われます。
ArFとKrFの違いは何ですか？
波長が違います。ArFのほうが短く、より細かいパターンを分離できます。KrFはArFより緩い寸法の層で使われ、装置も安価です。ASMLは公式製品ページで、ArF液浸のTWINSCAN NXTシリーズとKrFドライのTWINSCAN XT:1060Kなどを掲載しています。
液浸とドライの違いは何ですか？
レンズとウェーハの間に液体を入れるかどうかです。液体を入れると光の屈折率が上がり、実効的な開口数が上がるため解像度が改善します。ASMLの公式製品ページは、液浸システムが業界の主力であると述べています。
EUVが出てきてもDUVは使いますか？
使います。1つのチップを作るには何十層もの露光が要りますが、すべての層が最先端の寸法を要求するわけではありません。緩い層はDUVで十分であり、装置の費用と処理能力の面で有利です。
処理能力はどのくらいですか？
ASMLの公式製品ページは、KrFドライのTWINSCAN NXT:870Bが300mmウェーハを毎時400枚という業界初の処理能力で露光すると述べています。緩い層を大量に流す用途では、この能力が効きます。
DUV装置のメーカーはどこですか？
当サイトの装置カタログDBでは、リソグラフィに一致する製品familyを持つメーカーを公式製品ページ単位で引けます。ASML、ニコン、キヤノンが該当します。ニコンは公式ページでNSRシリーズを掲載しています。
比較・違いを学ぶ
Section titled “比較・違いを学ぶ”- リソグラフィ工程 ── 工程としてのリソグラフィ
- ニコン DSP-100 デジタルリソグラフィ ── 別方式の露光装置
この記事の事実は次の一次資料を根拠とし、各URLの到達可否をこちらで実測しています。したがって、リンク先が移動または消滅した場合は、その旨をこのページへ反映します。
- ASML「DUV lithography systems」公式製品ページ（2026年8月22日にリンク生存を実測、200）
- ニコン「半導体装置ラインアップ」公式ページ（2026年8月22日にリンク生存を実測、200）
- 装置と製造メーカーの行は
intel.equipment_vendor_families（公式製品ページ由来）から生成