ウェット洗浄
枚葉・槽式洗浄装置
- SAPS兆声波洗浄
- TEBO兆声波洗浄
- 単晶円洗浄
- TAHOE洗浄
SAPS、TEBO、単晶円洗浄、TAHOEなどを、先端ロジック・メモリ・パワー半導体の洗浄工程へ投入します。
製品情報
集積回路向け製品 確認日 2026-08-10関連工程
前洗浄 / ポストエッチ洗浄 / 高アスペクト比構造 / 欠陥低減
関連する仕事
ウェットプロセス開発 / 流体・薬液設計 / 装置制御 / 顧客実証
主な関連拠点
上海・丹桂路(本社) / 上海・川宏路(アジア太平洋イノベーションセンター) / 上海・新元南路(研究開発・製造センター) / 無錫・北京・成都ほか